检测能力
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- Time of issue:2021-06-21 14:58:00
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Description:
Information
质量中心
质量中心致力于精密检测数字化智能检测领域,集精密检测、逆向工程、大数据分析为一体,为半导体精密制造保驾护航。
现有精度为0.19μm量程为3*1.6*1m蔡司三坐标,光学精度为3.0+L/150μm海克斯康影像测量仪等高精度检测设备。

ZEISS(蔡司三坐标)
● 型号Prismo Ulra163010
● 精度(1.9+L/400)um(0.5+3L/1000)um
● 量程是1600*3000*1000mm

投影机
● 品牌Mitutoyo
● 型号PJ-A3000
● 精度U=2um K=2

影像测量仪
● 品牌Hexagon
● 型号OPTIV LITE 563
● 精度:接触式4.0+L/150
● 光学3.0+L/150
● 量程500*600*250

Hexagon(海克斯康三坐标)
● 型号Global Classic SR 7107
● 精度(2.1+3.3L/1000)mm
● 量程700*1000*700mm

Hexagon(海克斯康三坐标)
● 型号Global Performance122210
● 精度(2.5+2.8L/1000)mm
● 量程1200*1000*2200mm
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